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IXION 193 SLM系统是一种单频全固态激光器，用于光学计量、193nm步进光学校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制。其小于80MHz的频谱带宽接近其理论傅里叶极限。
该激光器的中心波长可在185至194nm范围内定制，并可在购买时预先配置为固定波长。
作为高精度光谱仪的一种选择，系统具有0.001 nm绝对光谱精度。这可以最大限度地控制激光的光谱调谐。
IXION 193 SLM 应用
- 193 nm 计量
- 光谱仪校准
- 干涉度量
- 准分子激光器种子源
IXION 193 SLM
| 波长 | 193.368 nm |
| 平均功率 | 10 mW |
| 脉冲宽度 | typ 8-12 ns |
| 单脉冲能量 | 1.6 µJ |
| 重复频率 | 1-15 kHz |
| 光斑质量 | M² < 1.6 |
| 光谱带宽 | < 80 MHz |
| 光谱可调谐性 | > 10 pm |
| 相干长度 | > 2 m |
| 脉冲稳定性 | σ < 2.5 % |
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