一、显微镜操控规格

• 在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头
• 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，精度1μm
• 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm

二、台面规格

• 探针台台面平整度：5μm
• 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择
• 探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位

三、卡盘（载物台，即图中的chuck）规格

• 6" 卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"
• 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮
• 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为1μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能。如果点测      6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到

四、性能

• 镀金真空吸附卡盘:对应可选4"，6"，8"，12"产品
• 大旋钮移动卡盘台，X-Y方向行程：6"-6"
• 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品
• 线性无回差调节
• 台面快速升/降行程：6mm，精调升/降行程：25mm
• 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
• 卡盘平整度: 10um
• 卡盘旋转角度：0~360°
• Chuck Theta: ±15
• 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um
• 台面上/下升降摇杆/旋钮
• 显微镜倾仰装置

五、附件

• 显微镜倾仰装置
• 镀金卡盘
• 射频测试探头/电缆
• 有源探头
• 低电流/电容测试
• 高压测试
• 激光修复
• CCD/数字相机，USB接口
• 探针卡/封装/PCB板夹具
• 加热装置
• 防震桌
• 屏蔽箱