使用四点探针台,机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化,适用于半导体、太阳能、OLED、微机电、燃料电池等各式产业。

一、规格

l 探针间距：40mil，62.5 mil

l 探针压力：80g

l 探针材质：BeCu Tungsten Carbide

l 高温选配：High Temp. 200 ℃   

l 卡盘尺寸可选择：6英寸、8英寸、12英寸；

l 材料：特氟龙

l 探针升降长度：10毫米

l 探针台Z轴升降精度为：1微米

l 探针材质：碳化钨、铍铜合金

l 探针距离：40mil、50mil、62.5mil

l 弹簧探针力度：45grams、85grams、180grams

l 探针直径：40.6微米 

l 尺寸：220mm长x420mm宽x250mm高

l 重量：20Kg

二、特点

l 可垂直上下移动

l 特殊恒定负载的弹簧探针

l 恒定的探针间距

l 可保持极大程度的重复性测试

l 探头方便更换

l 探针台顶部可调整Z轴移动

l 稳固的连接线在探针台后面

l 转接头可选择：Banana/ BNC/ Triaxial Female

l 卡盘可快速移动

l 可以配合加热吸盘使用

l 卡盘尺寸可以选择：6英寸、8英寸、12英寸

l 气动的SR-4可用开关控制升降

三、应用

l 薄膜偏电阻 Sheet Resistivity

l 体积偏电阻 Volume Resistivity

l 导电率Doping Quality

l 金属膜厚Metalization Thickness

l P/N极性P/N Typing

l 电流电压I-V特性 V/I Measurement

四、其他高级应用

l 高阻低电流

l 温度环境下量测RT~200℃

l 超高温RT~1200 ℃

l 无氧环境下

l 微小间距最小10 micron

l 大面积尺寸基板1200mm×900mm

l 仪器结合软件