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FemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后，根据客户特定激光加工应用调试，包括对任何材料激光切割，激光划片，激光钻孔，3D激光铣削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系统使用Class 1激光安全防护罩，通过单个SCA工程软件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制，对不同工业微加工应用，提供优质的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。
产品特点：
- 高加工速度，高达300mm/s
- 加工不同物体亚微米分辨率
- 飞秒加工模式具有最小热影响区
- 直驱亚微米精度位移台
- 使用高性能扫描振镜精细激光束控制
- 点数控制（单点到350KHz）
- 激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步
- 原版软件界面控制所有集成的硬件设备
性能参数：
| 样品特性 | |
| 材料 | 固体材料，液态聚合物 |
| 尺寸（mm） | 150×150×150 |
| 光束成型和控制 | |
| 脉冲选择 | 集成、自动控制 |
| 扫描振镜 | 10m/s扫描速度，5×5 |
| 聚焦 | 高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mm |
| SLM（选配） | 1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式 |
| 位置 | |
| 类型 | XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配） |
| 加工速度 | 350mm/s |
| 工作区域（mm） | 160×160 |
| 分辨率（nm） | 1 |
| 位置精度（nm） | ±300 |
| 重复性（nm） | ±50 |
| 稳定度（nm） | 3 |
| 样品支架 | 真空夹头 |
| 激光参数 | |
| 激光介质 | Yb:KGW |
| 波长 | 1028±5nm |
| 功率（W） | 4（6，8，10选配） |
| 振荡器输出功率（W） | 0.7-1.5 |
| 脉冲能量（mJ） | 1 |
| 重频（KHz） | 200（600,1000选配） |
| 脉宽 | <200fs-10ps（可调）；<80fs（振荡器） |
| 光束质量 | M2<1.2 |
| 输出脉冲稳定性 | <1%RMS |
| 谐波产生器 | |
| 谐波 | 515nm，343nm，258nm，206nm选配 |
| 转换效率（@200KHz） | >50%（SH），>30%（TH）选配，>10%（FH）选配 |
| 软件控制 | |
| 功率控制 | 激光输出，电动衰减器 |
| 位移台控制 | 2.5D微加工，3D XYZ指令 |
| 控制界面 | 算法窗口，虚拟或GUI操纵杆 |
| 图形或矢量格式 | .bmp，.plt |
产品应用：
Glass Spacers
Sapphire cutting 0.325 mm thickness. Top view
Sapphire bulk marking
Tempered glass 0.55 mm thickness, 42 um DOL. Top view
Titan coating selective ablation
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