实验室级飞秒激光微加工系统FemtoLAB
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实验室级飞秒激光微加工系统FemtoLAB
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FemtoLAB飞秒激光微加工系统适用于科研机构进行飞秒激光微加工实验。配置纳米精度和分辨率的线性位移台,高性能扫描振镜,通用微加工软件SCA,是一套光学平台上的完整激光实验室。

WOP公司实验室级激光微加工系统也可以根据客户的应用定制。WOP具有很强的技术能力和应用经验,通过优化FemtoLAB系统,为客户节省宝贵的实验和培训时间。

可调参数:

  • 脉宽(<200fs-10ps)
  • 重频(1KHz-1MHz)
  • 平均功率(高达20W)
  • 脉冲能量(高达2mJ)
  • 波长(1030nm,515nm,343nm,258nm)

产品特点:

  • 高速精细微加工
  • 高端工业级飞秒激光器PHAROS
  • 加工不同物体精度亚微米量级
  • 飞秒微加工模式具有最小热影响区
  • 物体定位达纳米精度
  • 使用扫描振镜高精度激光束导向
  • 激光参数方便改变
  • 原版软件界面控制所有集成的硬件设备

软件控制功能:

  • XYZ位移台
  • 旋转轴
  • 扫描振镜
  • 激光参数
  • 机器视觉
  • 工作区域平均功率(反馈)
  • 偏振

加工便利性:

  • 使用显微镜转台切换波长
  • 使用显微镜转台改变光学部件聚焦
  • 使用共焦自动聚焦系统确定焦点
  • CCD相机视场自动校正
  • CCD自动聚焦到样品表面
  • 自动判断样品倾斜
  • 加工过程拍照和录像
  • 加工轨迹和CCD视场重合
  • 实时加工追踪
  • 键盘式操纵杆

 

全部配置包括

  • 飞秒激光器PHAROS
  • SHG,THG,FHG和光束传输系统
  • SHG用于振荡器输出
  • XYZ位移台系统
  • 扫描振镜系统
  • 4个衰减器用于WAIT PILOT
  • 4个偏振旋转器
  • 自动聚焦和机器视觉单元
  • SLM或其他光束整形器
  • 转台用于调整谐波镜和聚焦光学部件
  • 系统可以组装在已有的光学平台上,区域1m×2.5m。

应用举例:

 

Packaging Glass Products

 

Micro welding glass to metal

Sapphire cutting 0.1 mm thickness. Side view

Optical fibers drilling

Multiphoton polymerization

Chrome ablation from glass substrate

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